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首頁薄膜生長設備旋轉涂膜機,勻膠機 > VTC-100PA-UV型紫外光旋轉涂膜機,勻膠機
  • 產品名稱: VTC-100PA-UV型紫外光旋轉涂膜機,勻膠機
  • 上架時間: 2019-01-28
  • 產品編號: 03010008
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產品簡介

VTC-100PA-UV型紫外光旋轉涂膜機、勻膠機、甩膠機、旋涂儀、spin coater適用于半導體工藝、晶體、光盤、制版及表面涂覆等工藝。該機腔體采用聚丙烯材質,耐腐蝕且使用壽命長,可用于強酸、強堿溶液的涂覆。本機上蓋具有紫外燈光照射的功能,尤其適用于對紫外光敏感的膠體,可使涂覆后的膠體迅速固化;此外紫外燈還具有聚合作用,可以把單體聚合成聚合物膜。上蓋中心位置為注液孔,注液孔配有膠塞,當腔體需要密閉的環境時應將膠塞堵好。腔體帶有進氣孔,可在勻膠過程中對腔體通保護氣。樣件采用真空吸附方式進行固定,操作簡單,使樣件取放自如。配用專用定心工具可使樣件很容易放在吸盤中心位置,以減少偏心帶來的震動,避免造成飛片。根據樣件的大小可以選擇不同規格的吸盤,吸盤更換簡單方便。本機使用精密直流無刷電機,啟動快、速度穩定,可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。

 

產品型號

VTC-100PA-UV型紫外光旋轉涂膜機、勻膠機、甩膠機、旋涂儀、spin coater

主要特點

1、采用真空吸盤固定樣件,樣件固定牢固且取放簡單方便;真空吸盤大小可根據需要進行定制。

2、該機上蓋具有紫外燈光照射的功能,紫外光的強度可以在一定范圍內進行調整。

3、本機上蓋中心位置為注液孔,注液孔配有注液孔塞,當腔體需要密閉環境時可使用該孔塞將孔密閉。

4、該機帶有保護氣接孔,可對腔體通保護氣。

2、電機部分、紫外燈光控制部分分別使用獨立電源進行控制。電機調速系統采用單板機+液晶顯示屏進行控制,數值顯示更直觀可靠,轉數500-10000RPM內可調;紫光燈采用抗干擾性強的PLC控制器進行控制。

3、涂膜機在工作時設有兩個階段,在啟動前根據實際需要,可分別進行時間1、轉速1、時間2、轉速2的設置。設置完成啟動后,涂膜機先以轉速1在時間1時間內運轉,使涂膜物質逐漸分散開。當時間1結束,涂膜機自動進入時間2階段運轉,使涂膜物質更加均勻。

3、紫光燈真空旋轉涂膜機啟動快速、轉數穩定,可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。

4、在安裝結構上,采取了減震措施,降低運轉時的噪音。

5、腔體采用聚丙烯材質,使用壽命更長,提高耐化學腐蝕性和優異的抗應力開裂性能;機身采用鑄鋁結構,結實耐用且質輕。

技術參數

1、電源:AC220/110V 50/60Hz

2、電機功率: 350W/24V

3、速度范圍:500-10000rpm

4、可儲存1組程序,程序包含2個運行階段,每段增減速率設置范圍:

100 rpm s—2000 rpm /s,每段時間范圍:0-600s

5、吸盤規格:φ19mm  φ60mm

6、保護氣進氣孔規格:φ8㎜

7、真空氣孔規格:φ8㎜

8、紫光燈功率范圍:8-30W

9、紫光燈時間設置范圍:1-800S

10、外形尺寸:450×280×340mm

11、重量:20Kg

標準配件

1

真空吸盤

2(φ19 mm和φ60 mm)

2

中心定位器

1件

3

無油真空泵

1臺

可選配件

進口移液器

 

國產移液槍

 

真空吸盤

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